HITシリーズ

中空陰極イオンソース

フィラメントなし　長時間プロセス　低温アシスト　低エネルギー
高電流　高密度　

中和器特許取得済み

自社開発した先端インオンソースシステム、フィラメント大幅改良、
１０時間使用制限を解除、連続稼動時間１００以上達成

使用事例

イオンアシスト蒸着｜低温成膜｜イオンビームクリーンニング｜イオン活性化