DISEシリーズ

集束焦点DCイオソース

表面スムージング特化
大面積、特殊材料、マルチ形状対応
サブナノ加工精度

製品特徴

非接触

Click on the text in the block to select it and enter the text you want to show. Click on the image to set another one.

高いコストパフォーマンス

Click on the text in the block to select it and enter the text you want to show. Click on the image to set another one.

高精度

Click on the text in the block to select it and enter the text you want to show. Click on the image to set another one.

複数種類グリッド対応

Click on the text in the block to select it and enter the text you want to show. Click on the image to set another one.

非接触で表面スムージング、平坦化加工

正確なビーム焦点コントロール
移動可能、汚染なし

型番 DISE1000

グリッド電圧(V)

1500

グリッド電流(mA)

300

加速極電圧(V)

1000

連続稼動時間(H)

>100

グリッド種類

直径:15mm/30mm

使用分野

レーザー、赤外線、光通信、パネル、MEMS、半導体、宇宙

製品特徴

・長時間連続稼動
・高安定性
・フィラメントなし
・汚染少ない
・移動可能構造体対応
・AI自動制御
・IOT自動監視システム

使用場面

・表面スムージング
・エッチング
・イオンビーム洗浄
・イオンスパッタリング